קאָנטראָל פון טעמפּעראַטור און לופט דרוק אין ריין צימער

ענוויראָנמענטאַל שוץ איז באַצאָלט מער און מער ופמערקזאַמקייַט, ספּעציעל מיט די ינקריסינג פון האַזע וועטער. ריין צימער ינזשעניעריע איז איינער פון די ינווייראַנמענאַל שוץ מיטלען. ווי צו נוצן ריין צימער ינזשעניעריע צו טאָן אַ גוט אַרבעט אין ינווייראַנמענאַל שוץ? זאל ס רעדן וועגן די קאָנטראָל אין ריין צימער ינזשעניעריע.

טעמפּעראַטור און הומידיטי קאָנטראָל אין ריין צימער

די טעמפּעראַטור און הומידיטי פון ריין ספּייסאַז זענען דער הויפּט באשלאסן באזירט אויף פּראָצעס רעקווירעמענץ, אָבער ווען איר טרעפן פּראָצעס רעקווירעמענץ, מענטש טרייסט זאָל זיין גענומען אין חשבון. מיט דער פֿאַרבעסערונג פון לופט ריינקייַט באדערפענישן, עס איז אַ גאַנג פון שטרענגערע באדערפענישן פֿאַר טעמפּעראַטור און הומידיטי אין פּראָצעס.

ווי אַ גענעראַל פּרינציפּ, רעכט צו דער ינקריסינג פּינטלעכקייַט פון פּראַסעסינג, די באדערפענישן פֿאַר טעמפּעראַטור פלאַקטשויישאַן קייט ווערן קלענערער און קלענערער. פֿאַר בייַשפּיל, אין די ליטהאָגראַפי און ויסשטעלן פּראָצעס פון גרויס-וואָג ינאַגרייטיד קרייַז פּראָדוקציע, די חילוק אין טערמאַל יקספּאַנשאַן קאָואַפישאַנט צווישן גלאז און סיליציום ווייפערז געניצט ווי מאַסקע מאַטעריאַלס איז ינקריסינגלי קליין.

א סיליציום ווייפער מיט אַ דיאַמעטער פון 100 μ עם ז אַ לינעאַר יקספּאַנשאַן פון 0.24 μ עם ווען די טעמפּעראַטור ריסעס מיט 1 גראַד. דעריבער, אַ קעסיידערדיק טעמפּעראַטור פון ± 0.1 ℃ איז נייטיק, און די הומידיטי ווערט איז בכלל נידעריק ווייַל נאָך סוועטינג די פּראָדוקט וועט זיין קאַנטאַמאַנייטאַד, ספּעציעל אין סעמיקאַנדאַקטער וואַרשטאַטן וואָס זענען דערשראָקן פון סאָדיום. דעם טיפּ פון וואַרשטאַט זאָל נישט יקסיד 25 ℃.

יבעריק הומידיטי ז מער פּראָבלעמס. ווען די קאָרעוו הומידיטי יקסידז 55%, קאַנדאַנסיישאַן וועט פאָרעם אויף די קאָאָלינג וואַסער רער וואַנט. אויב עס אַקערז אין פּינטלעכקייַט דעוויסעס אָדער סערקאַץ, עס קען פאַרשאַפן פאַרשידן אַקסאַדאַנץ. ווען די קאָרעוו הומידיטי איז 50%, עס איז גרינג צו זשאַווער. אין דערצו, ווען די הומידיטי איז צו הויך, די שטויב קלעפּיק צו די ייבערפלאַך פון די סיליציום ווייפער וועט זיין כעמישער אַדסאָרבעד אויף די ייבערפלאַך דורך וואַסער מאַלאַקיולז אין לופט, וואָס איז שווער צו באַזייַטיקן.

די העכער די קאָרעוו הומידיטי, די האַרדער עס איז צו באַזייַטיקן די אַדכיזשאַן. אָבער, ווען די קאָרעוו הומידיטי איז אונטער 30%, פּאַרטיקאַלז זענען אויך לייכט אַדסאָרבעד אויף די ייבערפלאַך רעכט צו דער קאַמף פון ילעקטראָוסטאַטיק קראַפט, און אַ גרויס נומער פון סעמיקאַנדאַקטער דעוויסעס זענען פּראָנע צו ברייקדאַון. די אָפּטימאַל טעמפּעראַטור קייט פֿאַר סיליציום ווייפער פּראָדוקציע איז 35-45%.

לופט דרוקקאָנטראָלאין ריין צימער 

פֿאַר רובֿ ריין ספּייסאַז, אין סדר צו פאַרמייַדן פונדרויסנדיק פאַרפּעסטיקונג פון ינוויידינג, עס איז נייטיק צו האַלטן ינערלעך דרוק (סטאַטיק דרוק) העכער ווי פונדרויסנדיק דרוק (סטאַטיק דרוק). די וישאַלט פון דרוק חילוק זאָל בכלל נאָכקומען מיט די פאלגענדע פּרינסאַפּאַלז:

1. דער דרוק אין ריין ספּייסאַז זאָל זיין העכער ווי אַז אין ניט ריין ספּייסאַז.

2. דער דרוק אין ספּייסאַז מיט הויך ריינקייַט לעוועלס זאָל זיין העכער ווי אַז אין שכייניש ספּייסאַז מיט נידעריק ריינקייַט לעוועלס.

3. די טירן צווישן ריין צימערן זאָלן געעפֿנט ווערן צו צימערן מיט הויכע ריינקייטן.

די וישאַלט פון דרוק חילוק דעפּענדס אויף די סומע פון ​​פריש לופט, וואָס זאָל קענען צו פאַרגיטיקן פֿאַר די לופט ליקאַדזש פון די ריס אונטער דעם דרוק חילוק. אַזוי די גשמיות טייַטש פון דרוק חילוק איז די קעגנשטעל פון ליקאַדזש (אָדער ינפילטריישאַן) לופט לויפן דורך פאַרשידן גאַפּס אין ריין צימער.