טעמפּעראַטור און לופט דרוק קאָנטראָל אין ריין פּלאַץ

ינווייראַנמענאַל שוץ איז באַצאָלט מער און מער ופמערקזאַמקייט, ספּעציעל מיט די ינקריסינג פון האַזע וועטער. ריין צימער ינזשעניעריע איז איינער פון די ינווייראַנמענאַל שוץ מיטלען. ווי צו נוצן ריין צימער ינזשעניעריע צו טאָן אַ גוטע אַרבעט אין ינווייראַנמענאַל שוץ? זאל ס רעדן וועגן די קאָנטראָל אין ריין צימער אינזשעניריע.

טעמפּעראַטור און הומידיטי קאָנטראָל אין ריין פּלאַץ

די טעמפּעראַטור און הומידיטי פון ריין ספּייסאַז זענען דער הויפּט באשלאסן באזירט אויף פּראָצעס באדערפענישן, אָבער ווען באַגעגעניש פּראָצעס באדערפענישן, מענטשלעך טרייסט זאָל זיין גענומען אין חשבון. מיט דער פֿאַרבעסערונג פון די ריינקייַט באדערפענישן, עס איז אַ גאַנג פון שטרענגערטער באדערפענישן פֿאַר טעמפּעראַטור און הומידיטי אין פּראָצעס.

אין אַלגעמיין, די אַלגעמיינע פּרינציפּ, רעכט צו דער ינקריסינג פּינטלעכקייַט פון פּראַסעסינג, די באדערפענישן פֿאַר טעמפּעראַטור פלאַקטשויישאַן קייט ווערן קלענערער און קלענערער. פֿאַר בייַשפּיל, אין די ליטאַגראַפי און ויסשטעלן פּראָצעס פון גרויס-וואָג ינאַגרייטיד קרייַז פּראָדוקציע, די חילוק אין טערמאַל יקספּאַנשאַן קאָואַפישאַנט צווישן גלאז און סיליציום ווייפערז געניצט ווי מאַסקע מאַטעריאַלס זענען ינקריסינגלי קליין.

א סיליקאָן ווייפער מיט אַ דיאַמעטער פון 100 μ ם ז למז אַ לינעאַר יקספּאַנשאַן פון 0.24 μ עם ווען די טעמפּעראַטור ריסעס דורך 1 גראַד. דעריבער אַ קעסיידערדיק טעמפּעראַטור פון ± 0.1 ℃ איז נויטיק, און די הומידיטי ווערט איז בכלל נידעריק ווייַל נאָך סוועטינג, די פּראָדוקט וועט זיין קאַנטאַמאַנייטאַד, ספּעציעל אין סעמיקאַנדאַקטער וואַרשטאַטן וואָס זענען דערשראָקן פון סאָדיום. דער טיפּ פון וואַרשטאַט זאָל נישט יקסיד 25 ℃.

יבעריק הומידיטי סיב מער פּראָבלעמס. ווען די קאָרעוו הומידיטי איז 55%, קאַנדאַנסיישאַן וועט פאָרעם אויף די קאָאָלינג וואַסער רער וואַנט. אויב עס אַקערז אין פּינטלעכקייַט דעוויסעס אָדער סערקאַץ, עס קענען אָנמאַכן פאַרשידן אַקסאַדאַנץ. ווען די קאָרעוו הומידיטי איז 50%, עס איז גרינג צו זשאַווער. אין דערצו, ווען די הומידיטי איז אויך הויך, די גראָב אַדכיר צו די ייבערפלאַך פון די סיליציום ווייפער וועט זיין קעמאַקאַללי אַדסאָרבעד אויף די ייבערפלאַך דורך וואַסער מאַלאַקיולז אין לופט, וואָס איז שווער צו באַזייַטיקן.

די קאָרעוו הומידיטי, די האַרדער עס איז צו באַזייַטיקן די אַדכיזשאַן. אָבער, ווען די קאָרעוו הומידיטי איז אונטער 30%, פּאַרטיקאַלז זענען אויך לייכט אַדסאָרבעד אויף די ייבערפלאַך רעכט צו דער קאַמף פון ילעקטראָוסטאַטיק קראַפט, און אַ גרויס נומער פון סעמיקאַנדאַקטער דיווייסאַז זענען פּראָנע צו ברייקדאַון. די אָפּטימאַל טעמפּעראַטור קייט פֿאַר סיליקאָן ווייפער פּראָדוקציע איז 35-45%.

לופט דרוקקאָנטראָלאין ריין צימער 

For most clean spaces, in order to prevent external pollution from invading, it is necessary to maintain internal pressure (static pressure) higher than external pressure (static pressure). די וישאַלט פון דרוק חילוק זאָל קיניגל נאָכקומען מיט די פאלגענדע פּרינסאַפּאַלז:

1. דער דרוק אין ריין ספּייסאַז זאָל זיין העכער ווי אין ניט ריין ספּייסאַז.

2. דער דרוק אין ספּייסאַז מיט הויך ריינקייַט לעוועלס זאָל זיין העכער ווי אַז אין שכייניש ספּייסאַז מיט נידעריק ריינקייַט לעוועלס.

3. די טירן צווישן ריין רומז זאָל זיין געעפנט צו רומז מיט הויך ריינקייַט.

די וישאַלט פון דרוק די וישישע דעפּענדס אויף די סומע פון ​​פריש לופט, וואָס זאָל קענען צו פאַרגיטיקן פֿאַר די לופט ליקאַדזש פון דער ריס אונטער דעם דרוק אונטער דעם דרוק חילוק. דער גשמיות טייַטש פון דרוק חילוק איז די קעגנשטעל פון ליקאַדזש (אָדער ינפילטריישאַן) לופט לויפן דורך פאַרשידן גאַפּס אין ריין פּלאַץ.