וואָס זענען די פאַקטאָרן וואָס אַפעקטירן די לופטפלוס אָרגאַניזאַציע אין אַ ריין צימער?

די טשיפּ פּראָדוקציע קורס אין דער IC פאַבריקאַציע אינדוסטריע איז ענג פֿאַרבונדן מיט דער גרייס און צאָל לופט פּאַרטיקלען וואָס זענען אַוועקגעלייגט אויף דעם טשיפּ. א גוטע לופט שטראָם אָרגאַניזאַציע קען נעמען די פּאַרטיקלען וואָס ווערן גענערירט דורך דער שטויב מקור אַוועק פון דעם ריין צימער צו ענשור די ריינקייט פון דעם ריין צימער, דאָס הייסט, די לופט שטראָם אָרגאַניזאַציע אין אַ ריין צימער שפּילט אַ וויכטיקע ראָלע אין דער פּראָדוקציע קורס פון IC. דער פּלאַן פון דער לופט שטראָם אָרגאַניזאַציע אין אַ ריין צימער דאַרף דערגרייכן די פאלגענדע צילן: רעדוצירן אָדער עלימינירן די ווירבלען אין דעם שטראָם פעלד צו ויסמיידן די ריטענשאַן פון שעדלעך פּאַרטיקלען; האַלטן אַן צונעמען positive דרוק גראַדיענט צו פאַרמייַדן קראָס קאַנטאַמאַניישאַן.

לופטפלוס קראַפט

לויטן ריינע צימער פרינציפ, די כוחות וואס ארבעטן אויף די פארטיקלען שליסן איין מאסע קראפט, מאלעקולארע קראפט, אטראקציע צווישן פארטיקלען, לופט שטראם קראפט, א.א.וו.

לופט שטראָם קראַפט: באַציט זיך צו דער קראַפט פון דעם לופט שטראָם געפֿירט דורך דעם צושטעל, צוריקקער לופט שטראָם, טערמישער קאָנוועקשאַן לופט שטראָם, קינסטלעכער מישן, און אַנדערע לופט שטראָמען מיט אַ געוויסער שטראָם ראַטע צו טראָגן די פּאַרטיקלען. פֿאַר דער טעכנישער קאָנטראָל פון אַ ריינע צימער סביבה, איז די לופט שטראָם קראַפט דער וויכטיקסטער פאַקטאָר.

עקספּערימענטן האָבן געוויזן אַז אין לופט שטראָם באַוועגונג, די פּאַרטיקלען נאָכפאָלגן די לופט שטראָם באַוועגונג מיט כּמעט די זעלבע גיכקייט. דער צושטאַנד פון די פּאַרטיקלען אין דער לופט ווערט באַשטימט דורך די לופט שטראָם פאַרשפּרייטונג. די לופט שטראָמען וואָס ווירקן אויף די אינעווייניקסטע פּאַרטיקלען זענען דער הויפּט: לופט צושטעל לופט שטראָם (אַרייַנגערעכנט ערשטיק לופט שטראָם און צווייטיק לופט שטראָם), לופט שטראָם און טערמישע קאָנוועקשאַן לופט שטראָם געפֿירט דורך מענטשן וואָס גייען, און די לופט שטראָם געפֿירט דורך פּראָצעס אָפּעראַציע און אינדוסטריעלע ויסריכט. פאַרשידענע לופט צושטעל מעטאָדן, גיכקייט אינטערפייסיז, אָפּעראַטאָרן און אינדוסטריעלע ויסריכט, און אינדוצירטע דערשיינונגען אין ריינע צימערן זענען אַלע פאַקטאָרן וואָס ווירקן אויף די ריינקייט מדרגה.

פאַקטאָרן וואָס האָבן אַן השפּעה אויף די אָרגאַניזאַציע פון ​​לופטפלוס

1. דער איינפלוס פון לופט צושטעל מעטאד

(1). לופט צושטעל גיכקייט

כדי צו זיכער מאַכן אַ גלייכגעוויכטיקן לופטפלוס, מוז די לופט צושטעל גיכקייט זיין גלייכגעוויכט אין אַ איין-דירעקציאָנעלן ריין צימער; די טויטע זאָנע פון ​​דער לופט צושטעל ייבערפלאַך מוז זיין קליין; און דער דרוק פאַל אין דער ULPA מוז אויך זיין גלייכגעוויכט.

איינהייטלעכע לופט צושטעל גיכקייט: דאס הייסט, די אומגלייכקייט פון די לופט שטראָם איז קאנטראלירט אין ±20%.

ווייניקער טויטע זאָנע אויף דער לופט צושטעל ייבערפלאַך: ניט נאָר זאָל די פלאַך שטח פון די ULPA ראַם ווערן רעדוצירט, אָבער נאָך וויכטיקער, זאָל מען אָננעמען מאַדזשאַלער FFU צו פאַרפּשוטערן דעם איבעריקן ראַם.

כדי צו זיכער מאַכן ווערטיקאַלע איינריכטונגס לופטפלוס, איז די דרוק-פאַל אויסוואַל פון דעם פילטער אויך זייער וויכטיק, וואָס פארלאנגט אַז דער דרוק-פאַרלוסט אין דעם פילטער זאָל נישט אָפּווייכן.

(2). פארגלייך צווישן FFU סיסטעם און אקסיאַל פלאָו פאָכער סיסטעם

FFU איז א לופט צושטעל איינהייט מיט א פען און א פילטער (ULPA). נאכדעם וואס די לופט ווערט אריינגעזויגן דורך דעם צענטריפוגאַלן פען פון FFU, ווערט דער דינאמישער דרוק פארוואנדלט אין סטאטישן דרוק אין לופט רער און אויסגעבלאזן גלייך דורך ULPA. דער לופט צושטעל דרוק אויפן דעקע איז נעגאטיוו דרוק, אזוי אז קיין שטויב וועט נישט אריינרינען אין דעם ריינע צימער ווען דער פילטער ווערט אויסגעטוישט. עקספערימענטן האבן געוויזן אז די FFU סיסטעם איז בעסער ווי די אקסיאלע פלוס פען סיסטעם אין טערמינען פון לופט ארויסגאנג איינהייטלעכקייט, לופט שטראם פאראלעליזם און ווענטילאציע עפעקטיווקייט אינדעקס. דאס איז ווייל די לופט שטראם פאראלעליזם פון די FFU סיסטעם איז בעסער. די נוצן פון די FFU סיסטעם קען מאכן די לופט שטראם אין דעם ריינע צימער בעסער ארגאניזירט.

(3). דער איינפלוס פון FFU'ס אייגענער סטרוקטור

FFU איז דער עיקר צוזאמענגעשטעלט פון ווענטילאטארן, פילטערס, לופט-שטראָם פירער דעוויסעס און אנדערע קאָמפּאָנענטן. דער אולטרא-הויך עפעקטיווקייט פילטער ULPA איז די וויכטיקסטע גאַראַנטיע צי דער ריינער צימער קען דערגרייכן די פארלאנגטע ריינקייט פון דעם פּלאַן. דער מאַטעריאַל פון דעם פילטער וועט אויך ווירקן די איינהייטלעכקייט פון דעם פלוס פעלד. ווען אַ גראָב פילטער מאַטעריאַל אָדער אַ לאַמינאַר פלוס פּלאַטע ווערט צוגעגעבן צו דעם פילטער אַרויסגאַנג, קען דער אַרויסגאַנג פלוס פעלד לייכט ווערן איינהייטלעך.

2. השפּעה פון פאַרשידענע גיכקייט אינטערפייסיז פון ריינקייט

אין דעם זעלבן ריינעם צימער, צווישן דעם ארבעטס-געגנט און נישט-ארבעטס-געגנט פון ווערטיקאַלן איינריכטונגס-פלוס, צוליב דעם חילוק אין לופט-געשווינדיקייט ביים ULPA-ארויסגאַנג, וועט א געמישטער וואָרטעקס-עפעקט ווערן גענערירט ביים אינטערפייס, און דער אינטערפייס וועט ווערן א טורבולענטע לופט-פלוס-זאָנע מיט באַזונדערס הויכער לופט-טורבולענץ-אינטענסיטעט. פּאַרטיקלען קענען ווערן טראַנסמיטירט צו דער ייבערפלאַך פון דער עקוויפּמענט און קאָנטאַמינירן די עקוויפּמענט און וועיפערס.

3. השפּעה פון שטאב און עקוויפּמענט

ווען דער ריינער צימער איז ליידיג, טרעפן די לופט-פלוס אייגנשאפטן אין צימער בכלל די פלאן רעקווייערמענץ. אזוי שנעל ווי די עקוויפּמענט גייט אריין אין ריינער צימער, פערסאנעל באוועגט זיך און פראדוקטן ווערן טראנסמיטירט, וועלן אוודאי זיין שטערונגען פאר דער לופט-פלוס ארגאניזאציע. למשל, ביי די ארויסשטעקנדיקע ווינקלען אדער ברעגן פון דער עקוויפּמענט, וועט דער גאז ווערן אפגעטריבן צו פארמירן א טורבולענטע זאנע, און די פליסיקייט אין דער זאנע ווערט נישט גרינג אוועקגעפירט דורך דעם גאז, אזוי פאראורזאכנדיג פארפעסטיקונג. אין דער זעלבער צייט, וועט די ייבערפלאך פון דער עקוויפּמענט זיך אויפהייצן צוליב קאנטינעווערליכער אפעראציע, און דער טעמפעראטור גראדיענט וועט פאראורזאכן א ריפלאו זאנע לעבן דער מאשין, וואס וועט פארגרעסערן די אקומולאציע פון ​​פארטיקלען אין דער ריפלאו זאנע. אין דער זעלבער צייט, וועט די הויכע טעמפעראטור גרינג פאראורזאכן אז די פארטיקלען זאלן אנטלויפן. דער צווייפאכיגער עפעקט פארערגערט די שוועריקייט פון קאנטראלירן די אלגעמיינע ווערטיקאלע לאמינארע ריינקייט. דער שטויב פון די אפעראטארן אין ריינער צימער איז זייער גרינג צו האלטן זיך צו די וועיפערס אין די ריפלאו זאנעס.

4. איינפלוס פון צוריקקער לופט שטאָק

ווען דער קעגנשטאנד פון צוריקקער לופט וואס גייט אדורך דעם שטאק איז אנדערש, וועט א דרוק אונטערשייד ווערן געשאפן, אזוי אז די לופט וועט פליסן אין דער ריכטונג פון ווייניגער קעגנשטאנד, און גלייכמעסיגע לופט שטראם וועט נישט באקומען ווערן. די היינטיגע פאפולערע פלאן מעטאד איז צו ניצן אויפגעהויבענע שטאקן. ווען די עפענונג ראטע פון ​​אויפגעהויבענע שטאקן איז 10%, קען די לופט שטראם גיכקייט אין דער ארבעטס הייך פון דעם צימער ווערן גלייך פארטיילט. דערצו זאל מען שטרענג אויפמערקן אויף רייניקונג ארבעט צו רעדוצירן די פארפעסטיקונג מקור פון דעם שטאק.

5. אינדוקציע פענאמען

די אזוי גערופענע אינדוקציע פענאמען באציט זיך צו דער פענאמען אז דער לופט שטראם ווערט געשאפן אין דער פארקערטער ריכטונג פון דעם גלייכפארמיגן שטראם, און דער שטויב וואס ווערט געשאפן אין צימער אדער דער שטויב אין דער ארומיקער פארפעסטיקטער געגנט ווערט אינדוצירט צו דער אויפווינט זייט, אזוי אז דער שטויב קען פארפעסטיקן דעם טשיפּ. די פאלגנדע זענען די מעגלעכע אינדוקציע פענאמען:

(1). בלינדע פּלאַטע

אין אַ ריינעם צימער מיט אַ ווערטיקאַלן איינריכטונגס-פלוס, צוליב די פֿאַרבינדונגען אויף דער וואַנט, זענען בכלל גרויסע בלינדע פּלאַטעס וואָס וועלן שאַפֿן טורבולענץ אין דעם לאָקאַלן צוריקפלוס.

(2). לאָמפּן

די לייטינג פיקסטשערז אין די ריינע צימער וועלן האָבן אַ גרעסערע פּראַל. ווייַל די היץ פון פלורעסאַנט לאַמפּס פאַרשאַפן די לופט לויפן צו העכערונג, וועט עס נישט זיין קיין טורבולענט געגנט אונטער די פלורעסאַנט לאַמפּס. בכלל, די לאַמפּס אין די ריינע צימער זענען דיזיינד אין אַ טרער-פאָרעם צו רעדוצירן די פּראַל פון די לאַמפּס אויף די לופט לויפן אָרגאַניזאַציע.

(3.) שפּאַלטן צווישן ווענט

ווען עס זענען דא לעכער צווישן צעטיילונגען מיט פארשידענע ריינקייט לעוועלס אדער צווישן צעטיילונגען און דעקעס, קען שטויב פון דעם געגנט מיט נידעריגע ריינקייט רעקווייערמענטס אריבערגעפירט ווערן צו דעם ארומיגן געגנט מיט הויכע ריינקייט רעקווייערמענטס.

(4). דיסטאַנץ צווישן דער מאַשין און דעם שטאָק אָדער וואַנט

אויב דער שפּאַלט צווישן דער מאַשין און דעם שטאָק אָדער וואַנט איז זייער קליין, וועט עס פאַראורזאַכן צוריקקער טורבולענץ. דעריבער, לאָזט אַ שפּאַלט צווישן די עקוויפּמענט און דער וואַנט און הייבט די מאַשין אויף כּדי צו פאַרמייַדן אַז די מאַשין זאָל אָנרירן דעם באָדן גלייך.